集成化音圈模组设计,包含音圈电机动定子、导轨、光栅尺反馈系统及载台,即装即用
性能特点:
系模块化设计, 应用了圆柱形音圈电机
单重线导轨或滑轨系统
行程可从15mm到30mm
直接驱动,无背隙和无嵌齿效应
模块的设计配备编码器
编码器的高分辨率有1.0um或0.1um
反应快,带宽高