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什么是激光干涉仪
编辑:商辉自动化设备(上海)有限公司  时间:2016-08-11

   激光干涉仪,以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。广泛应用于精密长度、角度的测量如线纹尺、光栅、量块、精密丝杠的检测。
     以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统(见激光测长技术)测量位移的通用长度测量工具。激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,最初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的,它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、C O2含量0.03%)下的测量精确度很高,可达1×10-7。
    激光干涉仪 - 基本原理  激光器的出现,使古老的干涉技术得到迅速发展,激光具有亮度高、方向性好、单色性及相干性好等特点,激光干涉测量技术已经比较成熟。激光干涉测量系统应用非常广泛:精密长度、角度的测量如线纹尺、光栅、量块、精密丝杠的检测;精密仪器中的定位检测系统如精密机械的控制、校正;大规模集成电路专用设备和检测仪器中的定位检测系统;微小尺寸的测量等。
    在大多数激光干涉测长系统中,都采用了迈克尔逊干涉仪或类似的光路结构。

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