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激光干涉仪测量数控的原理跟用途
编辑:商辉自动化设备(上海)有限公司  时间:2017-03-28

1. 激光干涉仪测量原理

  激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜,然后分成两道光束,一道光束( 参考光束) 射向连接分光镜的反射镜,而第二道透射光束( 测量光束)则通过分光镜射入第二个反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,重新汇聚之后返回激光器,其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉( 见图1) 。


  若光程差没有变化时,探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时,探测器会在每一次光程变化时,在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号,这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。

2. 激光干涉仪的用途

  激光干涉仪是一种以波长作为标准对被测长度进行测量的仪器。激光干涉仪是20 世纪60 年代末期问世的一种新型的测量设备,由美国HP 公司研制成功并于1970 年投入市场,随即受到了相关行业特别是机床制造业的重视,其主要在: 线形、角度、垂直度、直线度、平面度等方面上应用。随着激光干涉仪测量技术的不断提高,测量软件的不断开发其测量范围越来越广泛,特别是在测量数控机床位置精度方面用途最为广泛。

3. 激光干涉仪测量数控机床位置精度

  (1) 测量环境激光干涉仪检测数控机床位置精度的最为理想测量环境是在20℃ ± 2℃ 条件下进行。由于测量数控机床位置精度过程中工作现场很难控制在标准恒温条件下进行,因此必须充分考虑测量环境的变化所引起的测量误差。好在激光干涉仪本身具备自动补偿功能,它可根据测量环境的空气温度、相对湿度、空气压力和3 个材料温度传感器的变化情况对激光光束波长进行自动修正补偿。但是在激光测量采集数据过程中避免突发冷热气流的产生,特别指出的是数控机床的传动系统滚珠丝杠和光栅尺等所产生的综合热效应是影响数控机床位置精度的主要误差来源。


  (2) 测量标准根据GB17421. 2—2000 评定标准《机床检验通则第二部分: 数控轴线的定位精度及重复定位精度的确定》进行评定。通常数控机床位置精度包括: P 为定位精度; Ps为重复定位精度; Pa为位置偏差; U 为反向偏差。这些评定关键项目,往往是用户最为关注,并且由此来评定机床精度的重要依据。

  (3) 测量准备工作在激光干涉仪测量机床前必须保证被测机床的几何精度合格。主要包括: 确保激光干涉仪校准系统完好、有效、准确、可靠,确保机床整机几何精度检验合格,确保被测机床具备检测条件,确保机床控制系统参数设置正确,确保机床滑动部位运动自如,确保测量过程中工作环境温度的恒定。


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