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表面轮廓仪系统——轮廓仪
编辑:商辉自动化设备(上海)有限公司  时间:2016-09-26

KLA-TENCOR推出新型 P-6 表面轮廓仪系统

    KLA-Tencor 公司近日发布其最新的探针式表面轮廓测量系统 P-6,该系统针对科学研究与生产环境(例如,光电太阳能电池制造)提供一组独特的先进功能组合。P-6 系统受益于在先进半导体轮廓仪系统上开发的测量技术,但却采用了较小与较经济的桌面型机台设计,可接受最大至 150 毫米的样本。

    KLA-Tencor 的成长与新兴市场集团副总裁 Jeff Donnelly 表示:“我们对 P-6 探针系统的推出感到振奋,该系统将为科学与太阳能客户提供在应用方面的最佳功能组合。对于太阳能市场,P-6 拥有在开发阶段提高太阳能电池效率,以及监控生产制程质量所需的分辨率、扫描质量和自动控制能力。”

    融合 KLA-Tencor 的自动化 P-16+ 探针式轮廓仪的众多功能,P-6 探针式轮廓仪充分承袭了最佳技术与效能的传统:

    低噪声基底可改善表征微小表面特征的测量灵敏度

    小于 6 埃的步进高度可重复性,确保了严苛的制程控制

    150 毫米 X-Y 样本载台可实现覆盖整个基底的单一测量

    2D 应力测量与分析可将缺陷降至最低并提升良率

    功能强大且容易使用的分析软件,提供高阶应用的灵活性

    P-6 轮廓仪已通过主要太阳能产品制造商 BP Solar 的合格认证。BP Solar 技术副总裁 Eric Daniels 表示:“我们对 KLA-Tencor 的 P-6 系统的评估证明,它对于多种表面测量应用系统的一系列制程条件具有高灵敏性,其中包括 ARC 薄膜、导线触点及前表面纹理结构。对于支持我们的技术开发与生产改善,P6 将发挥重要价值。”

  


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